安全知識---三氟化氮(NF3)安全操作實踐

三氟化氮（NF3）是有毒、無色、無嗅、不可燃的氧化性壓縮氣體。NF3具有在室溫條件下相對容易使用和可以用作氟化劑的優點。由於這些因素，它在許多應用中獲得了廣泛的認可。由於它的優點，如高蝕刻率、高選擇性、無碳蝕刻和最小限度的殘留汙染，電子工業把它用在等離子和熱清潔應用中。由於它相對於氟氣更容易使用，NF3在高能化學激光器中用作氟源。在特殊化學品的生產中NF3還用作媒介。