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    電子工業用氣體國家標準 高純氯Cl2

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    電子工業用氣體國家標準 高純氨NH3

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    電子工業用氣體國家標準 氮氣N2

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    電子工業用氣體國家標準 三氯化硼

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    電子工業用氣體國家標準--三氯化硼BCl3 查看詳情

    電子氣體產業動態

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    2006年是“十一五”計劃的開局年,也是中國集成電路產業繼續快速前行的發展年。2006年蘇州市新成立的集成電路企業及配套企業近20家,其中包括三星電子(蘇州)半導體第二工廠、晶方半導體科技(蘇州)有限公司、蘇州震坤科技有... 查看詳情

    電子工廠特種氣體係統設計規範

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    本規範的編寫將適用於集成電路/太陽能芯片生產廠、新型顯示器件廠(TFT/PDP廠,如上海華虹-NEC、德芯電子(昆山)有限公司)高純化學品配送係統管道的設計、施工及驗收。主要技術內容包括:高純化學品(含研磨液)配送係統設... 查看詳情

    微電子工業特殊氣體貯存及使用守則

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    本守則旨在就微電子工業貯存和使用特殊氣體而申領危險品牌照的事宜提供指引。本守則列明關於貯存所的坐落地點、設計和建造的規定(例如機械通風係統、氣體偵測係統、滅火係統、電力裝置等),以及發牌當局所訂明須遵守的相關條文。此外,... 查看詳情

    超臨界二氧化碳(CO2)清洗鈾樣品技術研究

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    針對鈾樣品在機械加工過程中殘留的幾種常見冷卻液成分:水、機油和三乙醇胺,開展了超臨界二氧化碳對鈾樣品的清洗實驗,探討了超臨界二氧化碳對鈾樣品表麵常見機械加工殘留物的清洗效果,同時對經超臨界二氧化碳浸泡的鈾樣品表麵化學成分... 查看詳情

    真空技術與設備3

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    真空技術是使氣體壓強低於地麵大氣壓強的技術。真空是指壓力遠小於101.325千帕(kPa)(即1大氣壓)的稀薄氣體空間。在真空技術中除國際單位製的壓力單位Pa外,常以托(Torr)作為真空度的單位。1托等於1毫米高的汞柱... 查看詳情

    真空技術與設備2

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    真空技術是使氣體壓強低於地麵大氣壓強的技術。真空是指壓力遠小於101.325千帕(kPa)(即1大氣壓)的稀薄氣體空間。在真空技術中除國際單位製的壓力單位Pa外,常以托(Torr)作為真空度的單位。1托等於1毫米高的汞柱... 查看詳情
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