六氟化硫廠家介紹六氟化硫用途
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    六氟化硫廠家介紹六氟化硫用途

    2019-12-30 15:55:42

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    1、用做電氣絕緣介質
    六氟化硫主要用做電氣絕緣介質,六氟化硫可以使電器設備小型輕量化且運行安全可靠,同時還可以降低設備造價。用六氟化硫作為絕緣介質的電力設備主要有變壓器和斷路器。大功率的變壓器大多使用六氟化硫做絕緣介質,一些小型六氟化硫已廣泛用做各種研究和工業用儀器的輔助部件。
    2、作為大氣汙染研究的示蹤劑
    為了研究汙染物在大氣中的傳送和擴散規律,人工釋放示蹤劑於大氣中,然後在下風方向進行追蹤測定,從而驗證和發展大氣擴散理論,建立大氣汙染濃度估算模式。六氟化硫作為示蹤劑的優點很多,六氟化硫在常溫下的化學惰性強,光照下穩定性高,難溶於水,能隨大氣運動,無沉降無毒。加之其釋放、采取和分析方法簡單,因而成為當前較理想、應用較廣的一種大氣示蹤劑。
    3、在半導體器件生產加工工藝中的應用
    氟化物氣體被廣泛應用於半導體加工工藝中。由高純矽組成的晶片是半導體工業的基礎。可用蝕刻後的腔體清洗沉積在化學氣相沉積腔體中,為了防止晶片在下一步驟中被沉積物汙染,腔體必須在一定的間隔時間內進行清洗,為了保護環境,六氟化硫可以循環使用。
     
     
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