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廣州市譜源氣體有限公司
六氟乙烷的應用
2012-2-13 17:43:12
電子工業：六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發展微電子工業方麵起著重要作用，是加工超大規模集成塊工藝中所必需的介質；
製冷空調業：六氟乙烷右用做製冷和空調的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級壓縮循環中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物；
化學工業：六氟乙烷可用做化學反應中的添氟劑；
電力工業：六氟乙烷可用做電氣設備的絕緣劑和高介電強度冷卻劑；
其它：六氟乙烷可用於器件表麵清洗，還可用於光纖生產。
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