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廣州市譜源氣體有限公司
氬氣知識:氬氣的特殊用途
2019-7-23 16:54:41
氬氣是目前工業上應用很廣的稀有氣體。它的性質十分不活潑，既不能燃燒，也不助燃。在飛機製造、造船、原子能工業和機械工業部門，對特殊金屬，例如鋁、鎂、銅及其合金和不鏽鋼在焊接時，往往用氬作為焊接保護氣，防止焊接件被空氣氧化或氮化。
高純氬氣主要用途：用於焊接、不鏽鋼製造、冶煉，還用於半導體製造工藝中的化學氣相澱積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶矽、鎢化、離子注入、載流、燒結等氬氣作為製作單晶及多晶矽的保護氣，為了提高矽晶體的質量，如何選用較高純度的氬氣，是製作矽晶體的一個議題。通過對本裝置的使用，氬氣的純度其中氧含量小於1ppm時，水分也小於1ppm時，製作出的單晶矽其氧碳含量就小於0.5ppm，這樣就提高了單晶的使用壽命並能達到要求，贏得客戶的滿意和市場的需求。由於一般液氬汽化後未經過純化處理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應商提供的氬氣超過了此範圍，但使用氬氣的客戶確不知道其質量，所以往往給生產国产传媒在线質量造成影響。有了氬氣純化裝置後不論氬原料氣的質量如何，隻要經過純化裝置的處理後，進入拉晶爐的氬氣，純度始終是恒定的。一般 O2＜0.2ppm,水分＜1ppm，這樣穩定的氬氣對生產晶體質量是有保證的。
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