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廣州市譜源氣體有限公司
四氟化硫《氣體應用大全》
2014-3-6 22:51:17
四氟化硫SF4
1.別名·英文名
氟化硫；Sulfur tetrafluoride、Sulfur fluoride．
2.用途
電子氣、化學氣相澱積、氟化劑、表麵處理劑、等離子幹刻。
3.製法
2F2+S→SF4
4.理化性質
分子量： 108.058
熔點： -121.5℃
沸點(101.325kPa)： -40.4℃
液體密度(-40.4℃，101.325kPa)：1816kg/m3
(-80℃，S.P.)： 1940.6kg/m3
氣體密度(20℃，101.325kPa)：4.558kg/m3
相對密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：3.783
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2247m3/kg
臨界溫度： 90.9℃
臨界壓力： 6342.9kPa
氣化熱(-40.4℃，101.325kPa)： 200.72 kJ/kg
比熱容(氣體，25℃)： Cp=707.57 J/(kg·k)
蒸氣壓(-100℃)： 0.9kPa
(-60℃)： 32kPa
(21.1℃)： 1067kPa
表麵張力(232.75K)： 19.85mN/m
四氟化硫在常溫常壓下為具有類似二氧化硫氣體的強烈刺激臭的無色有毒腐蝕性氣體。空氣中不燃燒。在600℃以下很穩定，但是遇到潮濕空氣時水解產生有毒的煙霧，其毒性很強，與光氣的毒性相似。與水和酸類激烈反應生成氟化氫和二氧化硫。有少量水分時能腐蝕玻璃。能溶於苯。
5.毒性
老鼠在4ppm時呼吸困難，衰弱；在20ppm時經4小時因肺氣腫而致命。
最高容許濃度：0.1ppm(0.4mg/m3)
四氟化硫的毒作用很強，它與人體內的水分作用生成氟化氫，因而對眼、皮膚和呼吸道係統造成嚴重的損傷。症狀有刺激眼和咽喉，皮膚灼傷，咳嗽，肺水腫等。
6.安全防護
工作時不要露出皮膚，保持室內空氣新鮮幹燥。用氣的設備應事先烘烤幹燥，用惰性氣體衝冼，再用氟氣鈍化以增強其耐蝕性。設備要嚴格密封，可用氨水探漏。
