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三氯矽烷《氣體應用大全》
2014-3-6 23:12:50
三氯矽烷SiHCl3
1.別名·英文名
矽氯仿、矽仿、三氯氫矽；Trichlorosilane、Silicochloroform．
2.用途
單晶矽原料、外延成長、矽液、矽油、化學氣相澱積、矽酮化合物製造、電子氣。
3.製法
(1)在高溫下Si和HCl反應。
(2)用氫還原四氯化矽(采用含鋁化合物的催化劑)。
4.理化性質
分子量： 135.43
熔點(101.325kPa)： -134℃
沸點(101.325kPa)： 31.8℃
液體密度(0℃)： 1350kg/m3
相對密度(氣體，空氣=1)： 4.7
蒸氣壓(-16.4℃)： 13.3kPa
(14.5℃)： 53.3kPa
燃點： -27.8℃
自燃點： 104.4℃
閃點： -14℃
爆炸下限： 9.8%
毒性級別： 3
易燃性級別： 4
易爆性級別： 2
三氯矽烷在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發出紅色火焰和白色煙，生成SiO2、HCl和Cl2。
SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2
三氯矽烷的蒸氣能與空氣形成濃度範圍很寬的爆炸性混合氣，受熱時引起猛烈的爆炸。它的熱穩定性比二氯矽烷好，在900℃時分解產生氯化物有毒煙霧(HCl)，還生成Cl2和Si。遇潮氣時發煙，與水激烈反應。
2SiHCl3+3H2O—→ (HSiO)2O+6HCl
在堿液中分解放出氫氣。 SiHCl3+3NaOH+H2O—→Si (OH)4+3NaCl+H2
與氧化性物質接觸時產生爆炸性反應。與乙炔、烴等碳氫化合物反應產生有機氯矽烷。
SiHCl3+CH≡CH一→CH2CHSiCl3 SiHCl3+CH2=CH2—→CH3CH2SiCl3
在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下，SiHCl3可被還原為矽烷。容器中的液態SiHCl3當容器受到強烈撞擊時會著火。可溶解於苯、醚等。無水狀態下三氯矽烷對鐵和不鏽鋼不腐蝕，但是在有水分存在時腐蝕大部分金屬。
三氯矽烷和一些物質混合接觸時的危險性如下表：
|
混合接觸危險物質名稱 |
化學式 |
危險等級 |
摘要 |
|
氯酸鈉
高氯酸鈉
過氧化氫
過氧化鈉
硝酸銨
硝酸鈉
高錳酸鉀
硝酸
硫酸
三氧化鉻
亞氯酸鈉
溴酸鈉
重鉻酸鉀 |
NaClO3
NaClO4
H2O2
Na2O2
NH4NO3
NaNO3
KMnO4
HNO3
H2SO4
CrO3
NaClO2
NaBrO3
K2Cr2O7 |
B
B
B
A
B
B
B
B
C
B
B
B
B |
|
5.毒性
小鼠-吸入LC50：1.5～2mg/L
最高容許濃度：1mg/m3
三氯矽烷的蒸氣和液體都能對眼睛和皮膚引起灼傷，吸入後刺激呼吸道粘膜引起各種症狀(參見四氯化矽)。
6.安全防護
液體用玻璃瓶或金屬桶盛裝，容器要存放在室外陰涼幹燥通風良好之處或在易燃液體專用庫內，要與氧化劑、堿類、酸類隔開，遠離火種、熱源，避光，庫溫不宜超過25℃。可用氨水探漏。
火災時可用二氧化碳、幹石粉、幹砂，禁止用水及泡沫。廢氣可用水或堿液吸收。
