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丙矽烷《氣體應用大全》
2014-3-6 23:46:36
丙矽烷 Si3H8
1.英文名·別名
Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane．
2.用途
半導體矽膜製造、非晶矽製造。
3.理化性質
分子量： 92.33
溶 點： -117.4℃
沸 點： 53℃
液體密度(-117.4℃)： 725kg/m3
氣體密度(0℃，101.325kPa)：4.15kg/m3
比熱容(氣體，27℃)： 1256.04J/(kg·K)
粘度(20℃)：0.00318 Pa·s
丙矽烷在常溫常壓下為可燃性有毒液體。它具有與矽烷類似的化學性質，但其反應性比矽烷和乙矽烷更強。在空氣中能自燃。它在空氣中的爆炸範圍不詳，但是可以估計、比矽烷的爆炸範圍還大。因此，當把它與空氣接觸時，為安全起見，必須把濃度控製存0.1%以下。丙矽烷的熱穩定性也比矽烷差，靠其放電能量也可使其分解成si和H2。它不溶於水，不與酸反應，但能與堿反應生成矽酸和氫。與單體鹵素激烈反應。它無腐蝕性。
4.毒性·安全防護
丙矽烷容器要存放在陰涼通風良好之處，要遠離熱源和火種，要與其它可燃性物質和腐蝕性藥品隔離，庫溫不宜超過40℃，避免陽光直射。搬運時要輕裝輕卸，嚴防容器受撞擊。
著火時要切斷氣源，通惰性氣體以控製火勢，單純靠滅火劑來滅火是不行的。
排放丙矽烷廢氣時，必須是在完全分解之後排放，或者是在嚴格控製之下燃燒掉。具體的作法如下：
(1)導入液化石油氣等連續燃燒的火焰中，使其一同燃燒掉。
(2)通入堿性水溶液中，使其全部水解。
(3)通入堿金屬(Na、Li等)的低級醇溶液中(約0.5%)，使其水解。
參見矽烷。
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