高純矽烷|SiH4

矽烷在常溫常壓下為無色、有毒、非常活躍的壓縮氣體。在室溫下著火，在空氣或鹵素氣體中發生爆炸性燃燒。即使用其它氣體稀釋，如果濃度不夠低．仍能自燃。矽烷在氬氣中含2%、氮氣中含2.5%、氫氣中含1%時，它仍能著火。矽烷濃度在小於1%時不燃，大於3%時自燃，1%～3%時可能燃燒。矽烷是強還原劑，與重金屬鹵化物激烈反應，與氯、溴發生爆炸性反應，與四氯化碳激烈反應。因此對矽烷不能使用氟裏昂滅火劑。矽烷不溶於乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化矽。不與潤滑油、脂肪反應。對幾乎所有的金屬無腐蝕性。有時，玻璃中的堿成分也能分解矽烷。溶解在二硫化碳中的矽烷遇到空氣也可發生爆炸。矽烷廣泛用於矽的外延生長、多晶矽、氧化矽、氮化矽等的原料，太陽能電池，光導纖維，有色玻璃製造，化學氣相澱積。

使用矽烷的工作場所要通風，保持室內空氣幹燥。矽烷裝置要嚴格密封，避免和空氣、水分相接觸，為此，用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換裏麵的空氣後抽真空，這樣反複進行置換和抽真空，一定要徹底清除係統中的空氣和水分。裝置使用以後，也要用惰性氣體置換清洗係統中的矽烷。可以用氦探漏器探漏。少量矽烷泄漏時，從氧化矽粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼幹燥通風良好之處，要遠離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場所要配備足夠的防護用品及應急用品。矽烷本身無腐蝕性，可以使用碳鋼、不鏽鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤滑油、玻璃。凡是可燃性的有機高分子材料應該避免使用。當矽烷大量泄漏時。緊接著就要著火，所以無法用滅火器滅火。但是可以控製火勢，使火災不向周圍蔓延。燃燒時輻射熱不太高，所以應盡可能去關閉閥門以止住氣體的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。廢氣可用水或堿吸收，或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之後用專門的過濾器捕捉。儲存於陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易（可）燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。密閉操作，局部排風。操作人員必須經過專門培訓，嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴過濾式防毒麵具（半麵罩）。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。

高純矽烷跟高純氨氣一起用於生產太陽能薄膜電池將矽分子附著於電池表麵

跟高純乙烯一起用於LOW-E鍍膜玻璃的生產

高純矽烷應用於大規模集成電路的外延生長工藝中用作矽源

應用於國防、軍事工業的研發、生產

矽烷在平板顯示生產中也有重要的用途

用於低溫二氧化矽CVD、用於氮化矽CVD

 

用一個減壓器或獨立的控製閥安全地從氣瓶內釋放矽烷。用單向閥來防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。
使用防火花工具。不要試圖對裝有矽烷的鋼瓶進行修理、調節或其他改動。
用氫離子檢測器監測矽烷的修理和在空氣中的擴散，用紅外/紫外監測器監測火災 。所以的監測器都應有內鎖，一旦發現問題立即自動切斷矽烷氣源。
如果出現故障或其他操作問題，請立即與最近的分銷商聯係。
矽烷係統中不允許使用填壓閥，隻允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配係統中應安裝過流閥或過流開關。這樣可以在下遊管線發生爆炸時切斷氣源。這個開關閥應安裝得離氣源越近越好。
如有可能應避免單獨一個人操作鋼瓶。所有的操作都應這樣進行,一旦發生泄漏，處理緊急情況的人員可以立即趕到。
監測係統應裝備備用或應急電源。必須有遙控緊急開關，必要時可關閉矽烷氣源。
一定不要拉、滾動或滑動容器。用合適的手推車來移動容器，不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。保證氣瓶在使用的全過程中為固定狀態。
不可將工具(如：扳手，螺絲刀，等) 插入閥蓋內。 否則會損壞閥門並引起泄漏。
一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過的係統連接好，應緩慢仔細地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難，需停止使用，並與供應商聯係。
使用可調節的帶扳手來打開過緊或生鏽的閥蓋。所有管路和相關設備接地。電器設備必須防火花和防爆。

分子量：    32.118
熔點(101.325kPa)：    -185.0℃
沸點(101.325kPa)：    -111.5℃
液體密度(-185℃)：    711kg/m3
氣體密度(0℃，100kPa)：    1.42kg/m3
相對密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：1.114
比容(21.1℃，101.325kPa)：    0.7518m/kg
氣液容積比(15℃，100kPa)：412L/L
臨界溫度：    -3.4℃
臨界壓力：4843kPa
臨界密度：    242kg/m3
熔化熱(-186.40℃，<0.1kPa)：  24.62 kJ/kg
氣化熱(-111.40℃，101.325kPa)：342.89kJ/kg
比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：  Cp=1333.96 J/(kg·K)
蒸氣壓(-168℃)：    1.33kPa
      (-60℃)：    1040kPa
      (-10℃)：    4150kPa
粘度(101.325kPa，0℃)：0.0108mPa·S
表麵張力(-111.4℃，101325kPa)：15.11mN/m
導熱係數(101.325kPa，0℃)：0.01918 w/(m·K)
爆炸界限：0.8%～98%
火災危險度：    大