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四氟化碳|CF4
国产传媒在线名稱：四氟化碳|CF4
其他名稱：四氟甲烷
分子式：CF4
UN NO：UN 1956
CAS NO：75-73-0
国产传媒在线純度：99.999％
包裝說明：40L鋼瓶30kg/瓶
其他名稱：四氟甲烷
分子式：CF4
UN NO：UN 1956
CAS NO：75-73-0
国产传媒在线純度：99.999％
包裝說明：40L鋼瓶30kg/瓶
訂購熱線：4006-377-517
四氟化碳|CF4
| 名稱 | 四氟化碳 |
| 其他名稱 | 四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride |
| 分子式 | CF4 |
| UN No | UN1956 |
| CAS No | 75-73-0 |
| 国产传媒在线純度 | 99.99~99.999% |
| 包裝說明 | 47L DOT鋼瓶，鋼瓶尺寸23 × 130cm，316L SS材質閥門，閥門型號CGA660；40L高壓無縫鋼瓶，淨重30kg/瓶，瓶頭閥是銅質閥門是QF-2，出口螺紋是G5/8 |
国产传媒在线說明:
四氟化碳是不燃燒的無色、無味的壓縮氣體，充裝於四氟化碳鋼瓶中，飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。四氟化碳是目前微電子工業中用量大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用於矽、二氧化矽、氮化矽，磷矽玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表麵清洗，太陽能電池的生產，激光技術、氣相絕緣、低溫製冷、泄漏檢驗劑、控製宇宙火箭姿態，印刷電路生產中的去汙劑等方麵也大量使用。由於四氟化碳的化學穩定性，四氟化碳可用於金屬冶煉，例如：銅、不鏽鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用於塑料行業；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。
四氟化碳是不燃燒的無色、無味的壓縮氣體，充裝於四氟化碳鋼瓶中，飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。四氟化碳是目前微電子工業中用量大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用於矽、二氧化矽、氮化矽，磷矽玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表麵清洗，太陽能電池的生產，激光技術、氣相絕緣、低溫製冷、泄漏檢驗劑、控製宇宙火箭姿態，印刷電路生產中的去汙劑等方麵也大量使用。由於四氟化碳的化學穩定性，四氟化碳可用於金屬冶煉，例如：銅、不鏽鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用於塑料行業；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。
四氟化碳用途
四氟化碳是目前微電子工業中用量大的等離子燭刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。
1：在電子器件表麵清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫製冷、
泄漏檢驗劑、控製宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去汙劑等方麵也大量使用。
2：可廣泛應用於矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對於矽和二氧化矽體係，采用CF4-H2反應離子刻蝕時，通過調節兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，這在刻蝕多晶矽柵極上的二氧化矽薄膜時很有用。
3：由於化學穩定性極強，CF4還可以用於金屬冶煉和塑料行業等。
4.：四氟化碳的溶氧性很好，因此被科學家用於超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功，在275米到366米的深度內，小白鼠仍可安全脫險。
注意事項:
四氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲存於陰涼、通風倉間內。倉內溫度不宜超過60℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品名，注意驗瓶日期，先進倉的先發用。搬運四氟化碳時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。泄漏時，應迅速撤離泄漏汙染區人員至上風處，並進行隔離，嚴格限製出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修複、檢驗後再用。
四氟化碳的物理化學性質
分子量：88.005
熔點(101.325kPa)： -186.8℃
沸點(101.325kPa)： -128.0℃
液體密度(-127.94℃，101.325kPa)：1603kg/m3
氣體密度(0℃，101.325kPa)： 3.946 kg/m3
相對密度(氣體，0℃，101.325kPa)： 3.05
氣液容積比(15℃，100kPa)：436 L/L
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg
臨界溫度： -45.6℃
臨界壓力： 3739kPa
臨界密度： 629kg/m3
壓縮係數：
四氟化碳是目前微電子工業中用量大的等離子燭刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。
1：在電子器件表麵清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫製冷、
泄漏檢驗劑、控製宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去汙劑等方麵也大量使用。
2：可廣泛應用於矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對於矽和二氧化矽體係，采用CF4-H2反應離子刻蝕時，通過調節兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，這在刻蝕多晶矽柵極上的二氧化矽薄膜時很有用。
3：由於化學穩定性極強，CF4還可以用於金屬冶煉和塑料行業等。
4.：四氟化碳的溶氧性很好，因此被科學家用於超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功，在275米到366米的深度內，小白鼠仍可安全脫險。
注意事項:
四氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲存於陰涼、通風倉間內。倉內溫度不宜超過60℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品名，注意驗瓶日期，先進倉的先發用。搬運四氟化碳時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。泄漏時，應迅速撤離泄漏汙染區人員至上風處，並進行隔離，嚴格限製出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修複、檢驗後再用。
四氟化碳的物理化學性質
分子量：88.005
熔點(101.325kPa)： -186.8℃
沸點(101.325kPa)： -128.0℃
液體密度(-127.94℃，101.325kPa)：1603kg/m3
氣體密度(0℃，101.325kPa)： 3.946 kg/m3
相對密度(氣體，0℃，101.325kPa)： 3.05
氣液容積比(15℃，100kPa)：436 L/L
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg
臨界溫度： -45.6℃
臨界壓力： 3739kPa
臨界密度： 629kg/m3
壓縮係數：
溫度℃ |
壓縮係數 | |||
|
100kPa |
1000kPa |
5000kPa |
10000kPa | |
|
1 5 |
0.9981 |
0.9763 |
0.7832 |
0.6058 |
|
50 |
0.9988 |
0.9866 |
0.8717 |
0.7637 |
熔化熱(-186.8℃)： 7.609 kJ/kg
氣化熱(-127.94℃，101.325kPa)： 135.65 kJ/kg
比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp=696 J/(kg·K)
Cv=602J/(kg·K)
比熱比(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.157
蒸氣壓(-180.65 C)：0.20 kPa
(-120℃)： 165 kPa
(-50℃)： 3220 kPa
粘度(101.325kPa，0℃，氣體)：0.0161 mPa·S
(-60.0℃，液體)：0.170 mPa·S
表麵張力(-80.0℃)： 6.4 mN/m
導熱係數(101.325kPa，0℃)：0.01503 w/(m·K)
(液體，-60.0℃)：0.07196 w/(m·K)
折射率(-73℃)： 1.151
四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體。空氣中不燃燒，是比較穩定的無毒物質。但是在高溫時，或與可燃氣體一同燃燒時，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶於水，在25℃，101.325kPa時，水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。
四氟化碳製備方法：
1.由碳與氟反應，或一氧化碳與氟反應，或碳化矽與氟反應，或氟石與石油焦在電爐裏反應，或二氟二氯甲烷與氟化氫反 應，或四氯化碳與氟化銀反應，或四氯化碳與氟化氫反應，都能生成四氟化碳。四氯化碳與氟化氫的反應在填有氫氧化鉻的高溫鎳管中進行，反應後的氣體經水洗、 堿洗除去酸性氣體，再通過冷凍，用矽膠除去氣體中的水分，最後經精餾而得成品。
2.預先稱取5～10g的碳化矽粉末和0.1g的單質矽粉，置於鎳盤中，使矽和碳化矽充分接觸後，將鎳盤放入蒙乃爾 合金反應管中，向反應管內通入氟氣，氟氣先和單質矽反應，反應放熱後，氟開始和碳化矽進行反應，通入等體積的幹燥氮氣以稀釋氟氣，使反應繼續進行，生成氣 體通過液氮冷卻的鎳製捕集器冷凝，然後慢慢地氣化後，將其通過裝有氫氧化鈉溶液的洗氣瓶除去四氟化矽，隨後通過矽膠和五氧化二磷幹燥塔得到最終国产传媒在线。
3.以活性炭與氟為原料經氟化反應製備。在裝有活性炭的反應爐中，緩緩通入高濃氟氣，並通過加熱器加熱、供氟速率和 反應爐冷卻控製反應溫度。国产传媒在线經除塵，堿洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等雜質、再經脫水可獲得含量約為85%的粗品。將粗品引入低溫精餾釜中進 行間歇粗餾，通過控製精餾溫度，除去O2、N2、H2，得到高純CF4。
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