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電子工業氣體六氟化硫、氯化氫技術指標
2016-1-4 14:29:05
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項目名稱 |
範圍 |
指標 | ||
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SF6純度（體積分數）/10-2 |
≥ |
99.99 | ||
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空氣含量（體積分數）/10-6 |
≤ |
50.0 | ||
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CF4含量（體積分數）/10-6 |
≤ |
15.0 | ||
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H2O含量（體積分數）/10-6 |
≤ |
8.0 | ||
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酸度（以HF計）（體積分數）/10-6 |
≤ |
1.0 | ||
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可水解氟化物（以HF計）（體積分數）/10-6 |
≤ |
1.0 | ||
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其他雜誌（CO2、C2F6、C2F8、SO2F2、S2OF2、S2OF10）（體積分數）/10-6 |
≤ |
15.0 | ||
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雜誌總和（體積分數）/10-6 |
≤ |
100 | ||
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顆粒 |
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由供需雙方商定 | ||
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項目名稱 |
範圍 |
指標 | ||
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Hcl純度（體積分數）/10-2 |
≥ |
99.999 | ||
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O2+Ar含量（體積分數）/10-6 |
≤ |
1 | ||
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N2含量（體積分數）/10-6 |
≤ |
2 | ||
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CO含量（體積分數）/10-6 |
≤ |
2 | ||
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CO2含量（體積分數）/10-6 |
≤ |
2 | ||
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CH4含量（體積分數）/10-6 |
≤ |
0.5 | ||
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烴類（C1~C3）含量（體積分數）/10-6 |
≤ |
1 | ||
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H2O含量（體積分數）/10-6 |
≤ |
1 | ||
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金屬離子含量（Fe）/10-6 |
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0.5 | ||
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其他離子Mn、Zn、Cr、Co、Cu、Ni含量（質量分數）/10-6 |
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- | ||
